透明材料(如玻璃、光學塑料、晶體等)的殘余應力和雙折射效應直接影響其力學性能與光學質量。日本LuCEO公司推出的全自動應變儀LSM-9100W基于Senarmont偏振法,結合高精度RGB線性極化技術,可實現0-3000nm延遲量的二維全場測量,測量精度達1nm,并支持?150mm大尺寸樣品的快速檢測。本文詳細介紹該儀器的技術原理、核心優勢,并結合玻璃制造、光學元件加工及塑料注塑等行業的應用案例,分析其在質量控制與工藝優化中的關鍵作用。
關鍵詞:應力分析、雙折射、Senarmont法、全場測量、透明材料
透明材料在制造過程中因溫度梯度、機械加工或固化收縮等因素會產生內部應力,進而導致雙折射現象,影響光學均勻性(如透鏡成像畸變)或機械強度(如玻璃自爆)。傳統應力檢測方法(如光彈法、激光干涉儀)通常存在測量范圍有限、操作復雜或僅支持點測量等問題。LSM-9100W全自動應變儀通過創新的光學系統設計和大面積成像技術,實現了高精度、高效率的二維應力分布檢測,為工業質量控制提供了新的解決方案。
LSM-9100W采用改進型Senarmont補償法,結合RGB三波長(420-680nm)線性偏振光,通過檢測樣品引起的相位延遲(Δ)和慢軸方向(θ),計算雙折射分布(Δn = Δ/d,d為樣品厚度)。相較于傳統單波長測量,多光譜分析可減少材料色散誤差,提高數據可靠性。
高精度成像系統
1100×1100像素CCD配合高均勻性極化板,實現1nm級延遲分辨率和0.1°慢軸方向精度。
3D應力分布可視化功能,直觀呈現樣品邊緣應力集中區域(如玻璃切割面)。
超發光LED光源
寬光譜LED替代傳統激光光源,避免相干噪聲,壽命達50,000小時,維護成本降低60%。
大樣品兼容性
?150mm測量區域+160mm高度空間,支持曲面玻璃、注塑件等非平面樣品的無損檢測。
在汽車鋼化玻璃生產中,LSM-9100W可快速掃描擋風玻璃全表面,檢測壓應力層深度(CS層)和邊緣應力集中(圖1)。某廠商通過該設備發現切割工藝導致的微裂紋區域延遲量異常(>1200nm),優化參數后不良率下降35%。
圖1 鋼化玻璃表面應力分布(3D視圖)
(示例:邊緣區域延遲量顯著高于中心)
對于AR透鏡用PMMA材料,注塑冷卻不均會導致雙折射(Δn>5×10??)。LSM-9100W的實時測量功能可關聯模具溫度與延遲量數據,指導工藝調整。某案例顯示,將模溫誤差控制在±1℃后,透鏡延遲量從300nm降至80nm以下。
在光纖制造中,預制棒的雙折射直接影響光纖的偏振模色散(PMD)。通過LSM-9100W的慢軸方向映射,可定位芯層不均勻區域(圖2),確保PMD<0.1ps/√km,滿足5G通信要求。
圖2 光纖預制棒慢軸方向分布圖
(示例:紅色箭頭指示高雙折射缺陷區)
指標 | LSM-9100W | 手動補償偏光儀 | 激光干涉儀 |
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測量范圍 | 0-3000nm | 0-1000nm | 0-500nm |
精度 | ±1nm | ±10nm | ±0.5nm |
測量面積 | ?150mm全場 | 單點掃描 | <?50mm |
適用場景 | 工業質檢、工藝優化 | 實驗室小樣品檢測 | 超薄光學膜檢測 |
推薦LSM-9100W的場景:
需大批量檢測玻璃/塑料制品的產線;
大尺寸或曲面樣品的無損測量需求;
長期穩定性要求高的連續作業環境。
替代方案:
若僅需實驗室小樣品檢測,可選用低成本手動偏光儀;
超精密光學元件(如光刻機透鏡)建議補充干涉儀驗證。
LSM-9100W全自動應變儀通過Senarmont偏振法與大面積成像技術的結合,實現了透明材料應力與雙折射的高效、高精度檢測。其在玻璃、光學塑料、光纖等行業的成功應用表明,該設備不僅能提升產品質量,還可為工藝優化提供數據支撐。未來,通過集成AI應力預測算法,有望進一步拓展其在智能制造中的應用價值。